搬运流程：

1.半导体是一种精密仪器。搬运设备前，必须做好搬运方案和设备保护。

2.如果搬运入口较小，可以向甲方了解设备特性是否可以放下或拆卸半导体。进入入口后，用龙门架将设备纠正。

3.确认地面高度。如需提升设备，尽量使用平台提升半导体设备。

4、搬运路线铺好均压钢板，避免让单点受力将地面压坏。

5.确认设备定位位置地面是否加固，避免设备定位后地面被压碎，导致设备倾倒或倾斜。

注意事项：

1.搬运前，应确认半导体尺寸和入口尺寸、搬运距离。如有台阶，应确认台阶高度等数据，并做好危险源调查和应急预案。

2.半导体进入无尘室前应进行无尘处理。如果在搬运过程中需要上下台阶，可以用平台吊起半导体，尽量不要使用机动叉车。因为本产品一般需要搬入无尘车间，以免机动叉车排放的废气污染车间或设备。

3.地面保护措施:将均压钢板铺在半导体搬运路线的地面上，进行无尘处理。便于半导体设备的移动和定位。

4.搬运方式:操作人员需要穿无尘服，操作前做好无尘处理，用气垫、液压叉车等工具搬运。